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合作案例

清華大學采購PLUTO-T等離子清洗機清華大學調研了眾多等離子表面處理設備，最終選擇了上海沛沅生產的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據客戶的技術要求，提供了可以滿足老師所有技術參數要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機，以下為該設備的安裝調試圖。
上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設備 2020年12月，上海交通大學采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設備。該設備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩定性與可重復性。
電子科技大學采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠電子科技大學已采購多臺等離子設備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。主要涉及的應用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導體樣品表面有機物的去除、多功能微納結構寬帶吸收器的表面處理等等。

新聞中心

企業新聞| CORPORATE NEWS

: 超越傳統清洗：小型等離子清洗機的環保、高效與多功能優勢

在現代工業制造與精密加工領域，表面清潔度是決定產品性能與可靠性的關鍵因素。隨著科技發展，傳統清洗方式已難以滿足日益嚴苛的生產標準，小型等離子清洗機憑借其獨特優勢...
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技術文章| Technical articles

: 手把手教你用好實驗室“神器”——等離子清洗機，省心又耐用！

等離子清洗機是實驗室里提升材料表面活性、增強粘接或涂層附著力的“神助攻”。但用不好，不僅效果打折，還可能傷機器、存隱患。別擔心，這份接地氣的“保姆級”操作和保養指南，讓你輕松上手，用得省心又長久！一、上手第一步：開機前的“熱身運動”環境檢查：通風要好：機器必須放在通風良好的地方，最好在通風櫥內或連接排氣管道。清洗時會產生少量臭氧等氣體，別讓它們在實驗室“串門”。電源穩定：插頭插穩，電壓符合要求(通常是220V)，別跟大功率設備(比如烘箱、馬弗爐)搶插座，避免電壓不穩“罷工”。...
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應用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
02 等離子去膠
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；

圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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